• Năm 1966-1968, Thích Thanh Từ xin phép Hòa thượng Bổn sư được nghỉ việc Giáo hội, tìm chỗ ẩn tu tại núi Tương Kỳ tại Vũng Tàu, dựng Pháp Lạc Thất dốc chí tu hành cho đến sáng đạo.
• Mùng 8 tháng 12 năm Mậu Thân, Thích Thanh Từ ra khỏi thất và tuyên bố "đã đến lúc làm Phật sự".
• Năm 1970: Thành lập Tu Viện Chơn Không trên núi Tương Kỳ, Vũng Tàu, mở khóa tu Thiền đầu tiên với 10 thiền sinh.
• Năm 1974: Thành lập Thiền Viện Bát Nhã và Linh Quang cũng tại Vũng Tàu.

• Năm 1975 trở đi: Phát triển các Thiền Viện mang tên CHIẾU: Thường Chiếu (1974), Viên Chiếu (1975), Huệ Chiếu (1979), Linh Chiếu (1980), Phổ Chiếu (1980), Tịch Chiếu (1987), Liễu Đức (1986).
• Năm 1993: Thành lập Thiền Viện Trúc Lâm Phụng Hoàng trên núi Phụng Hoàng, Đà Lạt.
• Năm 2002: Trùng tu Chùa Lân, lập thành thiền Viện Trúc Lâm Yên Tử.
• Năm 2005, dựng lập Thiền viện Trúc Lâm Tây Thiên.

Đến năm 2013, Thích Thanh Từ đã xây dựng trên 60 Thiền Viện, Thiền Tự và trên 100 đạo tràng học Phật tu Thiền theo thiền phái Trúc Lâm Việt Nam.